真空規(guī)是一種測量真空度的部件，由真空管、指針、尺度盤、密封桿等部分組成。真空規(guī)可用來測量物體的真空度，廣泛用于高精度加工和測量領域，涉及到航天航空、半導體制造、科學研究、真空焊接、金屬冶煉、光伏裝備等領域。

隨著真空測量技術發(fā)展，真空規(guī)種類日益多樣，整體分為彈性變形真空規(guī)、液體真空規(guī)、熱傳導真空規(guī)、輻射計型真空規(guī)、電離真空規(guī)、粘滯性真空規(guī)六大類。為滿足不斷升級的市場需求，國際真空規(guī)產品正不斷向小型化、集成化、一體化、智能化、高效率方向發(fā)展。

液體真空規(guī)是常見真空規(guī)之一，分為壓縮式真空規(guī)、U型壓力計。彈性變形真空規(guī)是利用彈性元件隨氣壓變化產生變形來測量壓差，可測量腐蝕性氣體、可凝蒸氣的壓力。彈性變形真空規(guī)又分為布爾登規(guī)、波紋管規(guī)、薄膜真空規(guī)、壓阻式真空規(guī)等。

根據原理不同，真空規(guī)性能不一，應用場景也有所差別。在低真空度中，薄膜真空規(guī)、壓阻式真空規(guī)應用較多；在中真空度中，多選用電離真空規(guī)、皮拉尼真空規(guī)；在高真空度中，以電離真空規(guī)為主；在超高真空度中，熱陰極真空規(guī)應用較廣泛。

在半導體制造過程中，真空規(guī)可測量真空室內的壓力和真空度，以保證半導體器件質量及性能。我國是全球最大的半導體市場，根據國家統(tǒng)計局數據顯示，2023年1-10月，我國集成電路產量為2765.3億塊。隨著半導體市場發(fā)展，真空規(guī)市場需求空間將隨之擴大。

在全球市場上，真空規(guī)供應商有美國MKS、美國Fredericks、瑞士INFICON、安捷倫、愛德華、美國InstruTech、奧松電子、沈陽科晶自動化設備、晨陽真空儀器等。在半導體用真空規(guī)領域，我國企業(yè)市場占比較低，與國外企業(yè)相比，在技術水平、產品性能、測量精度、品牌知名度等方面存在一定差距。

真空規(guī)具有快速響應、穩(wěn)定性高等優(yōu)點，在工業(yè)制造、航天航空、半導體、科學研究等領域應用廣泛。我國真空規(guī)供應商以中小型企業(yè)為主，品牌影響力較弱，在高端領域不占據優(yōu)勢，在市場需求升級背景下，我國企業(yè)仍需加大技術研發(fā)，提高創(chuàng)新能力及技術水平，增強自身競爭力。