風(fēng)囊泵又稱為氣動隔膜泵，是一種氣體壓縮設(shè)備，屬于氣動波紋管泵。風(fēng)囊泵有兩個工作腔，每個工作腔分為氣相工作腔和液相工作腔兩部分，工作原理是采用壓縮空氣為動力源，通過換向閥控制壓縮空氣依次進入兩個氣相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，實現(xiàn)對液體的輸送。

風(fēng)囊泵通常由風(fēng)囊、伺服電機、控制系統(tǒng)等部分組成，控制系統(tǒng)是其關(guān)鍵部分。控制系統(tǒng)包括傳感器、控制器、反饋回路，通過監(jiān)測液體流量和壓力，并根據(jù)設(shè)定值進行調(diào)整，以實現(xiàn)對液體流量和壓力的精確控制。根據(jù)壓縮方式不同，風(fēng)囊泵分為單作用式風(fēng)囊泵、雙作用式風(fēng)囊泵兩種。

風(fēng)囊泵具有無泄漏、高精度、無需電源、介質(zhì)輸送穩(wěn)定、耐腐蝕、噪音小、壽命長等特點，適用于輸送高純度、易揮發(fā)、低濃度、強腐蝕性、高粘度的介質(zhì)，在化工、制藥、環(huán)保、印染、光伏、半導(dǎo)體等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，風(fēng)囊泵可用于酸、堿、水、溶劑等化學(xué)品輸送，清洗劑輸送及特定溶液輸送，以確保半導(dǎo)體制造效率和質(zhì)量。我國是全球最大的半導(dǎo)體市場，根據(jù)國家統(tǒng)計局數(shù)據(jù)顯示，2023年1-10月，我國集成電路產(chǎn)量達2765.3億塊。風(fēng)囊泵是槽式清洗機、濕法清洗機、化學(xué)機械拋光（CMP）機等設(shè)備的重要部件之一，隨著半導(dǎo)體市場發(fā)展，半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵市場需求將進一步釋放。

在全球市場上，半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵企業(yè)有美國白騎士、日本易威奇、美國Trebor、美國Pillar、意大利SAT、臺灣帝隆、華林科納、瑞擇微、科百特、巖木科技等，其中美國白騎士、日本易威奇在國內(nèi)市場的占比較高。半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵誕生于上世紀90年代，由于制造難點多，我國能實現(xiàn)自主研發(fā)及生產(chǎn)的企業(yè)較少。

風(fēng)囊泵可用于高純度液體輸送，在制藥、化工、半導(dǎo)體等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵是半導(dǎo)體濕法制程的關(guān)鍵部件之一，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中起著不可或缺的作用，我國是半導(dǎo)體生產(chǎn)大國，半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵市場需求空間較大，但目前我國企業(yè)在半導(dǎo)體用風(fēng)囊泵領(lǐng)域不具優(yōu)勢，與國外企業(yè)相比，在技術(shù)水平、品牌知名度等方面存在一定差距。